Hiệu suất làm kín bằng ferrofluid trong hệ thống lắng đọng màng mỏng

Vai trò của các vòng đệm chân không trong quy trình lắng đọng

Trong sản xuất chất bán dẫn, các vòng đệm chân không được yêu cầu cho nhiều quy trình khác nhau. Các báo cáo ngành ghi nhận chức năng cụ thể của chúng trong cả Lắng đọng Hơi Hóa học (CVD) và Lắng đọng Hơi Vật lý (PVD). Đối với CVD, các vòng đệm duy trì chân không trong buồng phản ứng. Điều này cho phép một màng mỏng hình thành đồng đều trên tấm wafer. Các vòng đệm cũng cho phép tấm wafer quay bên trong buồng. Trong các quy trình PVD, các vòng đệm thực hiện chức năng tương tự. Chúng được sử dụng để duy trì môi trường được kiểm soát cần thiết cho việc lắng đọng màng mỏng chính xác.

Giải quyết các thách thức vận hành ở nhiệt độ cao

Phạm vi ứng dụng và tích hợp hệ thống

Việc sử dụng các vòng đệm này vượt ra ngoài quy trình xử lý tấm wafer bán dẫn cơ bản. Các lĩnh vực ứng dụng được ghi nhận bao gồm lò silicon đơn tinh thể, nơi chúng bảo toàn tính toàn vẹn chân không trong các quy trình nhiệt độ cao. Chúng cũng được tích hợp vào các hệ thống sản xuất Màn hình Phẳng (FPD), hỗ trợ các quy trình không nhiễm bẩn cho sản xuất màn hình. Trong các hệ thống lắng đọng, chúng thường là một thành phần của các giá đỡ chất nền quay, điều chỉnh độ cao và điều chỉnh độ nghiêng. Tính linh hoạt cơ học này là cần thiết cho việc chế tạo sáng tạo các màng mỏng được sử dụng trong pin mặt trời, pin và thiết bị vi điện tử.